分析國(guó)內(nèi)凈化工程潔凈建筑現(xiàn)狀 | |
發(fā)布時(shí)間:2013/9/5 內(nèi)容編輯:金業(yè)裝飾 閱讀次數(shù):2173 | |
事實(shí)并非如此。雖然我們并不經(jīng)常聽(tīng)到它,這主要是因?yàn)樵诿绹?guó),至少興建新的半導(dǎo)體晶圓廠已經(jīng)難得一見(jiàn)。而這是CCP應(yīng)用最多的地方。 設(shè)備制造商為了支撐微電子產(chǎn)業(yè)而新建的潔凈室已經(jīng)越來(lái)越少,通常一些補(bǔ)充和修改的CCP表格會(huì)在那些地方應(yīng)用。清潔建設(shè)技術(shù)沒(méi)有在美國(guó)大范圍地應(yīng)用,主要是因?yàn)樗揪蜎](méi)有用武之地。但它已經(jīng)被廣泛應(yīng)用在海外的工業(yè)設(shè)施,特別是在一些非常大的為世界提供代工服務(wù)的晶圓廠。他們所致力發(fā)展的清潔建設(shè)技術(shù)通常比美國(guó)更為嚴(yán)格。 誰(shuí)來(lái)提供服務(wù)? 如果CCP是必要的,而你又想將它應(yīng)用到你的潔凈室項(xiàng)目中,你可以在哪獲取相關(guān)建議呢?答案是,所有具有大型潔凈室項(xiàng)目設(shè)計(jì)和施工經(jīng)驗(yàn)的大工程建筑公司都能給你建議。即使他們開(kāi)始時(shí)用于確定一個(gè)適當(dāng)協(xié)議的辦法和引導(dǎo)規(guī)則略有不同,但過(guò)程的相似程度還是令人驚訝的。這是因?yàn)椋嗄陙?lái),他們都汲取了教訓(xùn),知道什么可行,什么不可行。不要對(duì)建筑師太苛求,我有很多朋友都從事建筑業(yè),但是許多建筑公司并不具有這方面的專業(yè)技術(shù)。他們常常依賴實(shí)驗(yàn)室的設(shè)計(jì)顧問(wèn),設(shè)計(jì)顧問(wèn)通常也不具備這方面專長(zhǎng),但是他們一般都知道怎么去獲取相關(guān)信息。 最后,還有一個(gè)專門(mén)的機(jī)構(gòu),叫特約顧問(wèn)團(tuán)。該機(jī)構(gòu)的一些專業(yè)人士都曾有過(guò)重大項(xiàng)目的經(jīng)驗(yàn),由于微電子廠建設(shè)步伐的放緩,他們開(kāi)始從事顧問(wèn)工作。遺憾的是,并沒(méi)有足夠多的工作讓每個(gè)人都忙起來(lái);他們中的一些人已經(jīng)退休了,要找到他們可不是一件容易的事情。例如,那曾經(jīng)興盛一時(shí)的、最大的、獨(dú)立提供這些服務(wù)的公司,現(xiàn)在已倒閉了。 我們可以從潔凈衛(wèi)生服務(wù)公司那里獲得一些執(zhí)行CCP的相關(guān)幫助,雖然得到的幫助并不是我們想象的那么多。這是因?yàn)楫?dāng)執(zhí)行一個(gè)建設(shè)項(xiàng)目時(shí),一般都由潔凈衛(wèi)生分包公司負(fù)責(zé)潔凈衛(wèi)生方面事宜。這些公司的管理層看到了提供這些服務(wù)的機(jī)會(huì),他們會(huì)提供一份預(yù)先準(zhǔn)備好的適合該項(xiàng)目的恰當(dāng)協(xié)議,并且他們能將這些服務(wù)做得很好。但也有少數(shù)例外,這在后面將會(huì)講到。對(duì)于大型制造業(yè)公司,尤其是在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),他們經(jīng)歷過(guò)多個(gè)潔凈室項(xiàng)目,一般都具有這方面的專家。這些專家都知道這方面有那些要求,他們都有這方面的建設(shè)經(jīng)驗(yàn),而且他們也會(huì)制定相關(guān)的技術(shù)說(shuō)明。然而,即使在這種情況下,他們還經(jīng)常依靠分包公司來(lái)履行這些工作,并頻繁的進(jìn)行嚴(yán)格的培訓(xùn)。 高純度管道的特殊案例 在安裝高純度管道時(shí),無(wú)論是用于氣體還是液體,都需要特別的注意。因?yàn)閱为?dú)使用標(biāo)準(zhǔn)的空氣污染控制措施,無(wú)法有效保證該管道可以用于無(wú)污染流體。雖然大多數(shù)管道分包商都深諳如何安裝電解拋光不銹鋼,PVDF和用于氧氣輸送的潔凈銅管系統(tǒng),但總承包商和施工管理層往往并不了解這些技術(shù)。因此,他們通常會(huì)花錢(qián)請(qǐng)可以提供測(cè)試服務(wù)的第三方,來(lái)做高純度管道的質(zhì)量控制,以保證純度。 潔凈室認(rèn)證 最后一個(gè)接手潔凈室項(xiàng)目的專業(yè)承包商是認(rèn)證機(jī)構(gòu)。它必須是一家合格的專業(yè)機(jī)構(gòu),而且它的工作人員不僅要詳盡的了解所用到的精密的測(cè)試設(shè)備,還要有發(fā)現(xiàn)建設(shè)過(guò)程中常見(jiàn)錯(cuò)誤的經(jīng)驗(yàn)。如果該機(jī)構(gòu)是第三承包商就更好了,它可以把驗(yàn)證的結(jié)果直接報(bào)告給主辦方,而不是主承包商。這樣的話,就可以使很多暗箱操作問(wèn)題得到妥善解決。認(rèn)證方的作用就是確保結(jié)果值得信賴。從這方面來(lái)講,該機(jī)構(gòu)的認(rèn)證報(bào)告只有證實(shí)設(shè)施設(shè)計(jì)的正確性才能受到設(shè)計(jì)公司的歡迎;只有證明建設(shè)預(yù)期已經(jīng)被正確執(zhí)行,才能受到主承包商和所有分包商的歡迎;只有證實(shí)主辦方已經(jīng)得到了他們想得到的才能受到主辦方的歡迎。 為及時(shí)發(fā)現(xiàn)并糾正潔凈室空氣過(guò)濾系統(tǒng)的滲漏,認(rèn)證機(jī)構(gòu)必須不斷地對(duì)過(guò)濾器進(jìn)行檢測(cè)。滲漏總是存在,這就意味著,為了能夠確保檢測(cè)到滲漏并修復(fù)它,必須在過(guò)濾器的上游側(cè)引入高濃度的粒子。由于CCP已經(jīng)成熟,而測(cè)試材料的選擇也已經(jīng)有了顯著改善,曾經(jīng)有人提議用周圍的空氣作為測(cè)試材料。他們認(rèn)為過(guò)濾器上游的空氣已經(jīng)足夠臟,可以滿足粒子濃度達(dá)到數(shù)百萬(wàn)粒子/立方英尺的要求。但潔凈建設(shè)項(xiàng)目已不再有這樣的問(wèn)題了。傳統(tǒng)的測(cè)試材料鄰苯二甲酸二辛酯 (DOP)是一種極微細(xì)的氣溶膠霧狀物,效果非常好。但是,它有危險(xiǎn)的負(fù)作用,因?yàn)樗鼤?huì)在很多年里不停地釋放氣體。因此,它很少用于微電子設(shè)備,也絕不能用于那些有用到光敏感面材料的潔凈室。目前,過(guò)濾器的測(cè)試材料選擇的是聚苯乙烯膠乳(PSL),也是一種氣溶膠物,由微小的塑料顆粒組成,也可以作為校準(zhǔn)顆粒計(jì)數(shù)器的材料。它不會(huì)像DOP那樣有不斷釋放氣體的危險(xiǎn)。 |